紫外激光器半导体激光二极管
20世纪80年代中期以来,半导体制造技术的发展以及与激光技术的结合,催生了紫外激光器半导体激光二极管,这类兼具半导体和激光器特性的激光源,具有更高的峰值功率和较低的能耗,且它的发射脉宽也较窄,本身不需要温度和光学补偿,比传统的发射光源具有明显的优势,并成为中紫外波段AlGaN发展的重点方向。气体紫外激光器因为该波段紫外辐射的激发效率最高,其输出效率也比较高。
为了使紫外线辐射源更为实用化,半导体紫外二极管发展的一个方向是大幅缩小现有紫外激光器及其电源的体积和功耗,另一个方向是开发发射波长为280nm、功耗小于10mW的发光紫外激光器半导体激光二极管以及发射波长为340nm、功耗小于25mW的激光二极管。