多通道皮秒激光器在柔性太阳能薄膜电池中应用
发布时间：2019-09-17 16:12
多通道皮秒激光器在柔性太阳能薄膜电池中应用
皮秒激光的脉宽很短，只有几个皮秒，具有很高的峰值功率。它与材料相互作用时，刻蚀部分热影响很小，产生"冷"加工的效果，避免不必要的热效应，无热影响区，且边缘光滑，因此可利用皮秒激光进行高精密加工。多通道皮秒激光器在柔性太阳能薄膜电池中的应用，皮秒激光器波长涵盖红外到紫外，可处理的材料范围极广，适用于很多场合的加工应用。
在薄膜太阳能电池的加工过程中，最早采用的是机械划刻的方式，操作复杂、边缘粗糙，且死区（Dead Area）宽度过大，约为300μm，若采用皮秒激光进行刻蚀，死区宽度仅为140μm，且各边缘光滑、边界明显、操作简单。目前太阳能薄膜电池加工过程中激光刻蚀采用的多为纳秒脉冲激光器，与皮秒激光器相比，这些纳秒激光器的脉宽要宽约1000倍，加工时热效应明显，存在边缘粗糙、表面碎屑、加工速度慢等缺点。
皮秒激光器以其优异的加工能力，多通道皮秒激光器在柔性太阳能薄膜电池中的应用使其在太阳能薄膜电池加工领域中，拥有极高的市场前景。但是，单台皮秒激光器成本高昂，而在薄膜太阳能电池生产过程中，不同的制程需要不同的光源参数，则需要配套多台皮秒激光器才可完成整个生产过程，使得生产设备成本过高，一般厂家难以接受。针对这一现状要求，莱泽光电在全国首家推出四通道皮秒固体激光器（如图3.1所示），波长分别为1064nm、532nm（1路1064nm，3路532nm），脉冲宽度＜15ps，功率稳定性＜1%，脉冲稳定性＜3%。新款皮秒激光器发布四路激光的参数可单独控制，完美解决了生产成本过高的这一问题。利用相关光学器件，将不同光束引导到不同的位置，在CIGS进行卷绕加工时，可同时进行激光在线工作。
