全固态激光器正朝着多波长方向发展,其中LD泵浦全固态绿光激光器发展迅猛,在各领域应用广泛。全固态绿光激光器具有能量转换效率高、功率大、光束质量好、体积小、寿命长、使用方便等优点,在彩色显示、激光医疗、水下通讯等方面有重要的应用,是国内外光电子技术研究与开发的热点之一。全固态腔内倍频绿激光器通过高效率的腔内倍频获得绿激光输出,它的结构紧凑,转换效率高,是获得绿激光的主要器件之一。但是此类绿激光输出功率波动一般都很大。全固态连续绿光激光器
全固化的微型全固态连续绿光激光器它采用北京半导体研究所生产的808nm的1W的LD作为抽运光源。由于所用LD的输出功率比较小,因此提高器件的光-光转换效率是提高器件性能的关键。为此,采用半导体制冷器作为温度控制元件,对LD的温度进行控制,以使其工作波长和激光晶体的吸收波长峰值准确重合,提高对抽运光的吸收效率。在本实验中把LD的工作波长调整到808.5nm。采用中科院福建物构所生产的Nd:YVO4晶体作激光介质,掺杂浓度为3at%,a轴方向切割,长度为1mm,横截面尺寸为3×3mm2。采用端面同轴抽运方式使LD的抽运光束和所产生的1.064mm激光光束在空间上更好地耦合,以提高抽运效率。采用焦距为3mm的非球面透镜把LD的光束聚焦到Nd:YVO4晶体内部,焦点处光斑直径为100mm,抽运光从LD到Nd:YVO4晶体内部的总耦合效率为92%。采用平凹稳定型谐振腔提高器件的效率和稳定性。为了提高抽运光利用率,采用凹面后反射镜和平面输出镜组成激光谐振腔。Nd:YVO4晶体的入射端面是曲率半径为50mm球面。后反射镜直接镀制在此面上。它对1064nm的反射率>99.8%,对808nm光的透射率>99.5%。Nd:YVO4晶体的另一端为平面,镀同时对1064nm和532nm的双波长增透膜,剩余反射率<0.25%。平面输出镜对1064nm光的反射率>99.8%,对532nm光的透射率>97%。平面输出镜的背面镀有对532nm光的增透膜,剩余反射率<0.25%。采用北京人工晶体研究院生产的KTP倍频晶体作腔内倍频器,按类临界相位匹配角切割,它的横截面为3×3mm2,通光方向长5mm,两个通光面同时镀对1064nm和532nm的增透膜,每个面的剩余反射率<0.25%。为了提高器件的稳定性,用环氧树脂把全部元件粘接为一个整体,同时用一个半导体致冷器对它们进行整体控温。
用滤光器滤除输出光束中的808nm的抽运光和1064nm的基频光后,用Ocean Optics, Inc. 公司的HR2000CG-UV-NI光谱仪测量绿光激光器的波长,用清华大学研制的HH型F-P共焦球面扫描干涉仪测量绿激光的纵模,用北京物科光电技术公司的LP-3A型功率计测量532nm输出功率和稳定性。在LD发出的抽运功率为1W时,得到230mW的TEM00模532nm绿激光的稳定输出,光-光转换效率达23%,4小时的稳定性优于±3%,绿激光中有3-4个纵模,每个纵模的宽度小于40MHz(受仪器分辨率所限)。据我们所知,这种激光器的性能在同类产品中是最好的。